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格隆汇6月2日丨盛美上海(688082.SH)于2023年5月参与分析师会议或公开的电话会议，问答环节中，就“公司清洗设备目前覆盖哪些领域？”，公司回复称，公司清洗设备已覆盖90%-95%的清洗工艺，如单片清洗设备，包括正面、背面、边缘和高温硫酸等，此外12英寸的清洗已经基本覆盖前道，中道到后道等，包括槽式设备的低压干燥技术，并且公司也是除国外两家大公司外第三家拥有低压干燥技术的公司。除此之外，超临界CO2干燥技术，这是未来清洗工艺特别需要的干燥技术，公司也在开发中，因此公司清洗技术从种类上看可以和国外三家清洗设备龙头企业拥有的技术种类相匹配，已达到非常广泛的覆盖率。